풀웨이퍼 컨택트 프로브 카드

풀웨이퍼 컨택트 프로브 카드

테스트 플로어 효율 개선 및 테스트 비용 감소

풀웨이퍼 컨택트 프로브 카드

폼팩터가 NAND 및 NOR 플래시 메모리 300mm 웨이퍼 테스트를 위한 새로운 고급형 풀 웨이퍼 컨택트 프로브 카드인 하모니 원터치(OneTouch™) ATC 프로브 솔루션을 발표했다.

하모니 원터치 ATC 카드는 플래시 디바이스 제조업체들이 향상된 웨이퍼 테스트 생산성 및 개선된 테스트 수율을 통해 첨단 플래시 제품에 대한 테스트 비용을 낮출 수 있게 해준다.

하모니 원터치 ATC 카드는 폼팩터社의 래피드소크(RapidSoak™)기술을 지원하는데, 이 기술은 프로브 카드에 필요한 시간을 단축시킬 수 있는 첨단 온도 제어 기능을 활용해 50%만큼의 열 평형 상태를 달성함으로써 테스트 셀 생산성과 가동 시간을 높여준다. 또한 래피드소크 기술은 웨이퍼 척의 이동과 관련된 온도 변화를 보정함으로써 하모니 원터치ATC 프로브 카드의 스크럽 일관성을 향상시킨다.

래피드소크 기술이 적용된 하모니 원터치 ATC 플랫폼은 하이닉스 반도체로부터 검증 받아 50nm 미만의 플래시 디바이스를 테스트할 수 있다. 이 플랫폼은 128MB NOR 디바이스에서 최대 64GB NAND 디바이스에 이르는 다양한 집적도의 플래시 디바이스 테스트를 수용하도록 설계됐다.

하모니 원터치 ATC는 폼팩터의 기존 세대 하모니 원터치 플랫폼 대비 더욱 뛰어난 평탄도를 제공하는데, 특정 고객의 환경설정에서 25% 수준에 이르기도 한다. 또한X/Y 배치 정확도가 대폭 향상되어 동일한 프로브 카드를 사용하는 냉/온 테스트 삽입 모두에 대해 높은 정확도를 제공한다.

하모니 원터치 ATC 프로브 카드는 현재 주문을 통해 생산 및 공급이 가능하다.